微光顯微鏡EMMI是半導體失效分析中漏電定位的重要工具。
具備高靈敏度的CCD，可偵測到組件中電子－電洞對再結合時所發射出來的光子，能偵測到的波長約在 350 nm ~ 1340 nm 左右。
1、EMMI可廣泛應用于偵測各種組件缺陷所產生的漏電流，包括閘極氧化層缺陷(Gate oxide defects)、靜電放電破壞(ESD Failure)、閂鎖效應(Latch Up)、漏電(Leakage)、接面漏電(Junction Leakage) 、順向偏壓(Forward Bias)及在飽和區域操作的晶體管，可藉由EMMI定位，找熱點(Hot Spot 或找亮點)位置，進而得知缺陷原因，幫助后續進一步的失效分析。
2、砷化鎵銦微光顯微鏡(InGaAs)與微光顯微鏡(EMMI)其偵測原理相同，都是用來偵測故障點定位，尋找亮點、熱點(Hot Spot)的工具，其原理都是偵測電子-電洞結合與熱載子所激發出的光子。差別在于InGaAs可偵測的波長較長，范圍約在900nm到1340nm之間，等同于紅外線的波長區 (EMMI則是在350nm-1100nm)。
3、激光束電阻異常偵測(OpticaBeam Induced Resistance Change，以下簡稱OBIRCH)，以雷射光在芯片表面(正面或背面) 進行掃描，在芯片功能測試期間，OBIRCH 利用雷射掃瞄芯片內部連接位置，并產生溫度梯度，藉此產生阻值變化，并經由阻值變化的比對，定位出芯片Hot Spot(亮點、熱點)缺陷位置。
4、ThermaEMMI是利用InSb材質的偵測器，接收故障點通電后產生的熱輻射分布，藉此定位故障點(熱點、亮點Hot Spot)位置，同時利用故障點熱輻射傳導的時間差，即能預估芯片故障點的深度位置。
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