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LANANtek M系列探針臺
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主要特點(diǎn)
●可選配高溫測試環(huán)境
●可選直筒顯微鏡，體式顯微鏡或金相顯微鏡
●載物臺可Z軸升降
●載物臺Theta可粗調(diào)360°，微調(diào)±7°
●載物臺XY移動(dòng)分辨率為1um
●可選配高壓高流測試環(huán)境
●快速裝片并可任意位置鎖定功能
●穩(wěn)定型顯微鏡橋架，移動(dòng)分辨率為2um，顯微鏡氣動(dòng)升降
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選配附件
●射頻測試探頭及電纜
●低漏電電流/電容測試
●激光修復(fù)
●探針卡/封裝/PCB 板夾具
●有源探頭
●高壓高流模塊
●高清數(shù)字相機(jī)
●Hot Chuck
●載物臺水平調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)
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應(yīng)用領(lǐng)域
●Failure analysis 集成電路失效分析
●Wafer level reliability 晶元可靠性認(rèn)證
●Device characterization 元器件特性量測
●Process modeling 塑性過程測試(材料特性分析)
●IC Process monitoring 制成監(jiān)控
●Package part probing IC封裝階段打線品質(zhì)測試
●ESD&TDR testing ESD和TDR測試
●Microwave probing 微波量測(高頻測試)
●Solar太陽能領(lǐng)域檢測分析
●LED、OLED、LCD領(lǐng)域檢測分析
●PCB領(lǐng)域檢測分析
●VESEL DFB,COC,硅光等光電器件測試
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兼容測試儀器
●各種型號示波器
●各品牌半導(dǎo)體參數(shù)分析儀，博測，是德，泰克，概倫等
●各種品牌的網(wǎng)絡(luò)分析儀，是德，羅德施瓦茨，思儀等
●各種品牌型號的源表
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